EUV 노광장비 독점기업 ASML 화성에 반도체 클러스터 세운다

세계 최대 반도체 노광장비 기업 ASML이 경기도 화성에 2400억원을 투자해 첨단 극자외선(EUV) 클러스터를 조성한다.

 

ASML이 뭐죠? '슈퍼 甲'!

 

ASML은 최첨단 EUV 장비를 독점 공급하는 업체로 글로벌 반도체 시장에서 초미세 공정 경쟁을 벌이고 있는 삼성전자와 대만 TSMC가 장비 구매를 위해 몇 달을 기다려야 할 정도로 반도체 업계에서는 '슈퍼 갑'으로 불린다.

 

정부-지방자치단체 ASML 인허가 적극 지원

 

ASML과 산업통상자원부는 13일 이 같은 내용의 '첨단장비 클러스터 투자협약'을 체결했다. ASML은 2025년까지 총 2,400억원을 투자하고 300명을 고용해 노출기계 관련 교육센터와 재제조센터를 건립할 계획이다. 산업부와 해당 지자체는 ASML의 인허가 관련해서 적극 지원하기로 했다.

 

ASML에서 생산하는 EUV 장비란?

 

ASML이 생산하는 EUV 장비는 웨이퍼에 빛을 받아 회로를 그리는 노광 공정에 사용된다. ASML 장비는 기존 장비 193nm(나노미터)의 1/14 수준인 극자외선을 사용하기 때문에 보다 정교한 작업이 가능하다. 대당 2000억 원이 넘는 초고가 기기다.

삼성전자가 파운드리 분야에서 TSMC와 경쟁하며 고객을 유치하기 위해서는 이 장비의 안정적 공급이 필수적이지만 ASML은 연간 수십 대만 생산할 수 있다.

 

ASML, 한국 투자 지속 계획 발표

 

앞서 2019년 세계 3위 반도체 장비 기업 램리서치도 경기도 용인에 있는 연구개발(연구·개발)센터에 투자하기로 했다. 2023년 상반기 용인지밸리 일반산업단지 입주를 목표로 하고 있다. 램리서치는 이곳에 원자 수준 식각 기술 연구개발센터를 설립하고 생산능력을 2배로 늘리기 위한 제조설비를 구축할 계획이다.

ASML은 중장기적으로 국내에 R&D 센터와 제조시설을 설립하는 방안도 제시했다. 베닝크 대표는 "앞으로 한국 연구개발(연구·개발)을 늘릴 것"이라고 말했다. 지식 이전에 드는 5~10년 후에 제조 기반이 만들어질 수 있습니다."라고 그는 말했습니다. 이우경 ASML 코리아 대표는 "재제조센터를 건립하면 현지에서 부품을 조달할 수 있고, 한국 파트너사의 저변도 확대할 수 있을 것"이라고 덧붙였다. 또 ASML은 향후 10년간 국내에서 1,400명을 추가 채용해 사업 기반을 확대할 계획이다.

 

"ASML의 장래는 밝을 것."

 

베닝크 CEO는 글로벌 경기 침체가 지속되고 있음에도 회사 성장에 자신감을 보였다. 그는 "2023년에도 (EUV 장비) 공급이 수요를 따라가기 어려울 것"이라고 말했다. 그는 이어 "앞으로 10년간 전체 반도체 산업이 연평균 9%의 성장률을 보일 것"